[发明专利]零刚度磁悬浮主动隔振器及其构成的六自由度隔振系统

摘要

本发明提供了一种结构紧凑的零刚度磁悬浮主动隔振器及其构成的六自由度隔振系统，属于精密隔振领域。该零刚度磁悬浮主动隔振器包括永磁被动隔振单元、主动隔振单元和安全限位组件。永磁被动隔振单元包括上部磁铁、下部磁铁、中间磁铁及其相关连接部件，磁铁为矩形磁铁。主动隔振单元可施加垂向和水平向的定位控制与振动主动控制，包括洛伦兹电机、速度传感器和位移传感器。安全限位组件具有机械水平调节和限位安全保护作用。本发明所提供的零刚度磁悬浮主动隔振器在水平向具有零刚度且在垂向具有承载力的同时具有准零刚度的特点，其构成的六自由度隔振系统适用于对低频振动敏感的精密加工与测量设备。

主权项

一种零刚度磁悬浮主动隔振器，其特征在于，它包括上部磁铁(1)、中间磁铁(3)和下部磁铁(2)，上部磁铁(1)和下部磁铁(2)固定，中间磁铁(3)能够在(x，y，z)三个方向上运动，上部磁铁(1)和中间磁铁(3)的磁化方向相同，下部磁铁(2)与中间磁铁(3)的磁化方向相反。