[发明专利]微型储能器件电极、微型储能器件及其形成方法

摘要

本发明公开一种微型储能器件电极的形成方法，包括以下步骤制作图形化的微型掩模板；提供基底，并准备电极浆料；将微型掩模板置于基底上；将电极浆料雾化喷涂在覆有微型掩模板的基底上；将微型掩模板与基底分离，待电极浆料干燥后基底上形成图形化的电极层。本发明的微型储能器件电极的形成方法通过微型掩模板技术，使得电极层可以制成复杂精细的形状，精密度很高；通过喷涂技术将电极浆料均匀喷涂于基底表面，使最终形成的电极层各处厚度更加均匀；具有技术简单，成本低，易于大规模推广的优点。本发明还公开了一种微型储能器件电极、一种微型储能器件及其形成方法。

主权项

一种微型储能器件电极的形成方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.通过激光雕刻机制作图形化的微型掩模板；S2.提供基底，并准备电极浆料；S3.将所述微型掩模板置于所述基底上；S4.将所述电极浆料雾化喷涂在覆有所述微型掩模板的所述基底上；以及S5.将所述微型掩模板与所述基底分离，待所述电极浆料干燥后所述基底上形成图形化的电极层，其中，所述电极层为梳指形。