[发明专利]分光模块有效

专利信息
申请号: 201310359016.7 申请日: 2008-06-05
公开(公告)号: CN103424187A 公开(公告)日: 2013-12-04
发明(设计)人: 柴山胜己;H·泰希曼;能野隆文;铃木智史;D·希勒;U·施塔克 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: G01J3/02 分类号: G01J3/02
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 分光模块(1)中,由于本体部(2)为板状,因而能够通过本体部(2)的薄型化来谋求小型化。并且,由于本体部(2)为板状,因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块(1)。即,通过对作为多个本体部(2)的玻璃晶圆,以矩阵状设置透镜部(3)、衍射层(4)、反射层(6)以及光检测元件(7)设置成矩阵状,并切割该玻璃晶圆,能够制造多个分光模块(1)。如此,能够容易地大量生产分光模块(1)。
搜索关键词: 分光 模块
【主权项】:
一种分光模块,其特征在于,具备:使从一个面入射的光透过的本体部和透镜部;设在所述透镜部的曲面上的、将透过所述本体部及所述透镜部的光分光并反射至所述一个面侧的衍射层及反射层;以及设在所述一个面侧的、检测被所述衍射层及所述反射层分光并反射的光的光检测元件,所述衍射层沿所述透镜部的曲面形成,所述反射层在所述衍射层的表面上形成。
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