[发明专利]等离子体反应腔室阻抗自动匹配方法

摘要

本发明涉及一种等离子体反应腔室阻抗的自动匹配方法，包括如下步骤：a)、设定可调阻抗元件的初始阻抗值；b)、判断同轴电缆上测得的反射功率是否大于第一阈值；若是，则执行步骤c)，否则，循环执行步骤b)；c)、判断射频电源的频率是否稳定；若是，则执行步骤d)，否则，循环执行步骤c)；d)、判断同轴电缆上测得的反射功率是否大于第二阈值；若是，则执行步骤e)，否则，回到步骤b)继续执行；e)、以一调节步长调节可调阻抗元件阻抗值，调节步长与同轴电缆上对地电压与电流的相位差α和/或的值同为正或同为负；其中，第二阈值大于第一阈值。其为阻抗匹配电路中可调阻抗元件提供准确的阻抗调节步长，提高了匹配效率。

主权项

一种等离子体反应腔室阻抗自动匹配方法，用于在一等离子体处理工艺步骤中自动调节阻抗匹配电路中一可调阻抗元件的阻抗值，所述阻抗匹配电路输入端通过一同轴电缆与一可变频率射频电源连接，其输出端与所述反应腔室的下电极连接，所述方法包括如下步骤：a)、设定所述可调阻抗元件的初始阻抗值；b)、判断所述同轴电缆上测得的反射功率是否大于第一阈值；若是，则执行步骤c)，否则，循环执行步骤b)；c)、判断射频电源的频率是否稳定；若是，则执行步骤d)，否则，循环执行步骤c)；d)、判断所述同轴电缆上测得的反射功率是否大于第二阈值；若是，则执行步骤e)，否则，回到步骤b)继续执行；e)、以一调节步长调节所述可调阻抗元件阻抗值，所述调节步长与所述同轴电缆上对地电压与电流的相位差α和/或的值同为正或同为负；其中，V为所述同轴电缆上对地电压，I为所述同轴电缆上电流，所述第二阈值大于所述第一阈值。