[发明专利]蒸镀设备与蒸镀方法无效
| 申请号： | 201310359451.X | 申请日： | 2013-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN104060226A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 陈建志;董福庆;赖丽惠;陈思豪;王怡珊 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀设备，用以对一基板进行蒸镀。该蒸镀设备包括一加热器、一源材料载具以及多个源材料图案层。源材料载具具有沿着一第一方向并排排列的多个源材料配置区，且源材料配置区彼此间隔一距离。在蒸镀设备进行蒸镀时，沿着第一方向排列的源材料配置区依次地位移至基板与加热器之间。源材料图案层分别设置于源材料配置区中。相邻两个源材料配置区中的两个源材料图案层具有不同材质以及不同的尺寸。此外，本发明还提出一种蒸镀方法，以及一种具有屏蔽构件的蒸镀设备。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，其特征在于，用以对一基板进行蒸镀，该蒸镀设备包括：一加热器；一源材料载具，具有沿着一第一方向并排排列的多个源材料配置区，其中在该蒸镀设备进行蒸镀时，沿着该第一方向排列的该些源材料配置区依次地位移至该基板与该加热器之间；以及多个源材料图案层，分别设置于该些源材料配置区中，其中两个源材料配置区中的两个源材料图案层具有不同材质。
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