[发明专利]MOCVD设备的喷淋头及MOCVD设备

摘要

本发明提供了一种MOCVD设备的喷淋头，包括：III族源气体腔、多个III族源气体管道、冷却腔和热壁板；所述冷却腔位于所述III族源气体腔和所述热壁板之间；所述热壁板上设有多个通孔，所述III族源气体管道的一端设置于所述通孔的内部，所述III族源气体管道的另一端与所述III族源气体腔连接；其中，III族源气体管道穿过的通孔为第一通孔，所述第一通孔的孔径沿所述III族源气体管道延伸方向不唯一。在本发明提供的MOCVD设备的喷淋头中，通过调整热壁板中第一通孔的形状，使得热壁板的孔壁至少有一部分远离III族源气体管道，减少热壁板向III族源气体管道辐射的热量，由此降低III族源气体管道中的III族源气体的温度，减少III族源气体的预分解，从而提高设备的沉积效率。

主权项

一种MOCVD设备的喷淋头，其特征在于，包括：III族源气体腔、多个III族源气体管道、冷却腔和热壁板；所述冷却腔位于所述III族源气体腔和所述热壁板之间；所述热壁板上设有多个通孔，所述III族源气体管道的一端与所述III族源气体腔连接，所述III族源气体管道的另一端穿过所述冷却腔和所述热壁板的通孔；其中，III族源气体管道穿过的通孔为第一通孔，所述第一通孔的孔径沿所述III族源气体管道延伸方向不唯一。