[发明专利]具有维持加热器的双单侧溅射腔在审
| 申请号： | 201310361550.1 | 申请日： | 2013-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN103594096A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | C·B·易;H·刘;H·元;T·塔娜卡 | 申请（专利权）人： | 西部数据传媒公司 |
| 主分类号： | G11B5/851 | 分类号： | G11B5/851 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有加热器腔和双单侧溅射腔的磁盘处理系统，其中单侧溅射腔每个具有维持加热器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 维持 加热器 双单侧 溅射 | ||
【主权项】：
一种磁盘处理系统，所述系统包含：第一腔，其包含布置在所述第一腔内的相对侧的第一加热器和第二加热器；耦合第一腔的第二腔，所述第二腔包含：固定在所述第二腔的第一侧内的用于溅射磁盘的第一侧的第一溅射组件；和固定在所述第一侧相对的第二腔的第二侧内的第三加热器；耦合所述第二腔的第三腔，所述第三腔包含：固定在所述第三腔的第一侧内的第四加热器，所述第三腔的第一侧和所述第二腔的第一侧是相同的；和固定在所述第一侧相对的所述第三腔的第二侧内的第二溅射组件。
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