[发明专利]光致抗蚀剂剥离液组合物有效
| 申请号： | 201310363319.6 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN103631103B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 许舜范;金炳郁;赵泰杓;尹锡壹;郑世桓;张斗瑛;朴善周 | 申请（专利权）人： | 株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可以替代以往常用的对人体有害的NMP等溶剂类，并包含剥离能力优秀的N,N‑二甲基丙酰胺的光致抗蚀剂剥离液组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂剥离液组合物，包含：10至65重量％的N,N‑二甲基丙酰胺、1至15重量％的环状胺类、10至68重量％的质子极性溶剂、及20至40重量％的超纯水，其中，所述光致抗蚀剂剥离液组合物不包含NMP。
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