[发明专利]从废弃的晶片锯切浆回收硅和碳化硅的方法和设备无效
| 申请号： | 201310364485.8 | 申请日： | 2009-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103481383A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | J·A·法拉沃利塔 | 申请（专利权）人： | 伊奥西尔能源公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B24B57/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了用于从晶片锯切过程中产生的浆液中回收高纯度的硅、碳化硅和PEG的方法、系统和设备。含硅物质可被加工以用于生产富含硅的组合物。从含硅物质回收的碳化硅和PEG可以用来形成晶片锯切切削液。富含硅的组合物可以与含碘化合物反应，其可以进行纯化和/或用于形成沉积的高纯度硅。产生的硅可用于光伏工业或半导体工业中。 | ||
| 搜索关键词： | 废弃 晶片 锯切浆 回收 碳化硅 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种形成硅的方法，其包括： (a)向第一容器提供碘及碳化硅和硅的混合物，从而在所述第一容器中形成包含四碘化硅和/或二碘化硅的蒸气，其中所述混合物从硅锯切中回收； (b)向第二容器中提供所述包含四碘化硅和/或二碘化硅的蒸气； (c)在真空下从所述第二容器中的所述四碘化硅和/或二碘化硅形成硅和碘(I2)。
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