[发明专利]化学机械抛光装置用扣环结构物及其制造方法在审
| 申请号： | 201310364761.0 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN104416455A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 金富淳;崔兴善 | 申请（专利权）人： | CNUS株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 张良 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及化学机械抛光装置用扣环结构物及其制造方法，包括如下步骤：在金属材料的插入环的上面形成用于与上述化学机械抛光装置的头部结合的多个孔；将树脂材料的多个插入销与上述插入环的多个孔结合，其中，上述树脂材料的多个插入销包括具有上面开放的中空部的销体和以沿长度方向的方式形成在上述销体的侧面的一个以上长槽部；将与上述插入销结合的上述插入环安装到模具，将树脂材料注塑，由树脂材料包围上述插入环而形成外部环；及对上述插入销进行丝锥加工。根据上述方法，防止由树脂材料环来包围的金属材料环向外部暴露，能预防金属材料环受到污染和腐蚀，提高耐久性，使用低成本的金属材料，能减少制造成本，达到提高商品价值的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 装置 扣环 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光装置用扣环结构物，其特征在于，包括：金属材料的插入环，在上面形成有用于与上述化学机械抛光装置的头部相结合的多个孔；树脂材料的插入销，包括销体和一个以上的长槽部，该插入销压入到上述插入环的孔并进行丝锥加工，其中，上述销体具有上面开放的中空部，上述一个以上的长槽部以沿长度方向的方式形成在上述销体的侧面；以及外部环，包围上述插入销和上述插入环。
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