[发明专利]化学机械抛光装置用扣环结构物在审
| 申请号： | 201310364805.X | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN104416456A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 金富淳;崔兴善 | 申请（专利权）人： | CNUS株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 张良 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及化学机械抛光装置用扣环结构物，这种结构物，其特征在于，包括：金属材料的上部环，在上表面形成有用于与上述化学机械抛光装置的头部相结合的多个螺栓孔，并且在上述上部环的中心部形成有规定深度的中心槽部，并具有在该中心槽部的侧面自然形成的一对边缘突起部；以及树脂材料的下部环，在中心形成有用于与上述上部环相结合的结合槽，并将插入上述上部环的中心槽部的中心突起部形成于上述结合槽的中心部。根据本发明的上述结构，将下部形成有突起部的金属材料的环和具有与上述突起部相结合的结合槽的树脂材料的环牢固而容易地结合，从而不仅能够增强环结构物的强度，减少晶片的平坦时间，而且还能够提高平坦度。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 装置 扣环 结构 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光装置用扣环结构物，其特征在于，包括：金属材料的上部环，在上表面形成有用于与上述化学机械抛光装置的头部相结合的多个螺栓孔，以及树脂材料的下部环，在中心形成有用于与上述上部环相结合的结合槽；上述上部环的上表面与上述下部环的边缘上表面以确保平面上的一致的方式相结合。
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