[发明专利]基于CMUT的海洋生化物质监测传感器及其制备与测量方法有效
| 申请号： | 201310364961.6 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN103454345A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 赵立波;李支康;蒋庄德;叶志英;赵玉龙;王苑;王久洪 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036;G01N29/12 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 汪人和 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于CMUT的海洋生化物质监测传感器及其制备与测量方法。其总体结构由上而下为：上薄板，上空腔、振动薄膜、下空腔、基座、敏感材料层、多孔下电极。所述上空腔和下空腔分别位于振动薄膜的上、下两侧，所述敏感材料层设置在所述基座下表面，所述下电极设置在所述敏感材料层的下表面，所述下电极设置有贯穿其厚度的通孔，所述振动薄膜同时作为上电极。本发明生化传感器可避免液体环境中流体阻尼对振动薄膜品质因子的影响，因而能实现高灵敏度生化物质测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 cmut 海洋 生化 物质 监测 传感器 及其 制备 测量方法 | ||
【主权项】：
一种基于CMUT的海洋生化物质监测传感器，其特征在于：包括基座（7）、敏感材料层（8）、下电极（9）、振动薄膜（4），以及上空腔（2）和下空腔（3），其中，所述上空腔（2）和下空腔（3）分别位于振动薄膜（4）的上、下两侧，所述上空腔（2）上方被第一密封结构密封，所述下空腔（3）下方被所述基座（7）密封，所述敏感材料层（8）设置在所述基座（7）下表面，所述下电极设置在所述敏感材料层的下表面，所述下电极设置有贯穿其厚度的通孔（10），所述振动薄膜同时作为上电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310364961.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
