[发明专利]一种连续制备和转移石墨烯的装置及方法有效

专利信息
申请号: 201310365458.2 申请日: 2013-08-20
公开(公告)号: CN103435035A 公开(公告)日: 2013-12-11
发明(设计)人: 金虎;周振义;彭鹏;刘志成 申请(专利权)人: 常州二维碳素科技有限公司
主分类号: C01B31/04 分类号: C01B31/04;C23C16/26;C23C16/54
代理公司: 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 代理人: 钟守期;吴晓萍
地址: 213149 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种连续制备和转移石墨烯的装置,并且更具体而言,涉及通过化学气相沉积法和剥离法而连续制备和转移石墨烯的装置,并且涉及使用所述装置进行连续制备和转移石墨烯的方法。通过本发明的装置和方法,可以实现连续制备和转移石墨烯,大大提高了石墨烯的产率,所使用的生长基底在高温下不易变形,故其表面生长的石墨烯非常平整,并且生长基底在剥离过程中损耗较小,可以重复使用,并且在重复使用时无需再次退火处理,节约时间和设备。
搜索关键词: 一种 连续 制备 转移 石墨 装置 方法
【主权项】:
一种连续制备和转移石墨烯的装置,包括:气相沉积设备,包括:进气口、真空抽气口、传送部件、生长基底、冷却部件和沉积区加热部件;剥离设备,包括:贴膜装置、剥离装置和收卷装置;生长基底回收设备,包括:清洗装置和烘干装置。
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