[发明专利]一种电镜样品制备方法有效
| 申请号： | 201310365495.3 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN104422604B | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 于倩倩;戴海波;李日鑫;赵耀斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电镜样品制备方法，包括提供包括待取样区域的晶圆，在所述晶圆上切割取出包括待取样区域的粗样，所述待取样区域包括待检测结构和检测垫；在所述粗样表面形成保护胶层；在所述保护胶层表面形成定位孔，所述定位孔位于所述检测垫上方，以确定检测结构和检测垫的位置；利用FIB将所述粗样制备成厚薄合适的电镜样品。本发明能确保包含low‑k材料的电镜样品的结构在制备过程中不发生形变，准确地得到小尺寸制程中low‑k材料的真正形貌特征，同时，该方法提高了工作效率以及电镜样品制备的成功率，节省了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种电镜样品制备方法，包括：提供包括待取样区域的晶圆，在所述晶圆上切割取出包括待取样区域的粗样，所述待取样区域包括待检测结构和检测垫；在所述粗样表面形成保护胶层；在所述保护胶层表面形成定位孔，所述定位孔位于所述检测垫上方，以确定检测结构和检测垫的位置；利用FIB将所述粗样制备成厚薄合适的电镜样品；其中，形成所述保护胶层的方法为：在粗样表面涂抹保护胶，提供另一表面涂抹有保护胶的第二粗样；将粗样和第二粗样涂有保护胶的一面贴合，挤压并使粗样和第二粗样相对运动，直至观察到粗样保护胶表面出现彩色条纹；将粗样放置在加热台上加热，以固化保护胶形成保护胶层。
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