[发明专利]一种大口径非球面光学元件精密检测平台Z轴配重装置

摘要

一种大口径非球面光学元件精密检测平台Z轴配重装置，涉及三坐标测量机。设连接支板、导轨、滑块、Z轴运动组件、测头、拉线、测量组件、凹形滑轨、配重组件及控制电路；导轨设于连接支板左侧，Z轴运动组件与滑块连接，测头设于Z轴运动组件上，Z轴运动组件与测量组件下端之间经第一拉线连接，测量组件位于连接支板左侧，测量组件设壳体、传感器压力件和压电传感器，凹形滑轨设于连接支板上端，配重组件设磁流变液容器、磁流变液和质量块，磁流变液容器置于连接支板右侧，磁流变液盛于磁流变液容器内，质量块浸入磁流变液中，质量块上端经第二拉线与测量组件的壳体上端连接，第二拉线与凹形滑轨滑动配合，控制电路设信号转换装置和电极。

主权项

一种大口径非球面光学元件精密检测平台Z轴配重装置，其特征在于，设有连接支板、导轨、滑块、Z轴运动组件、测头、第一拉线、测量组件、凹形滑轨、配重组件、第二拉线及控制电路；导轨设于连接支板左侧，滑块与导轨滑动配合，Z轴运动组件与滑块连接，测头设于Z轴运动组件上，Z轴运动组件与测量组件下端之间通过第一拉线连接，测量组件位于连接支板左侧，测量组件包括壳体、传感器压力件和压电传感器，传感器压力件和压电传感器均设于壳体中，传感器压力件露出壳体并与壳体活动配合，传感器压力件的压头压在压电传感器上，凹形滑轨设于连接支板上端，配重组件包括磁流变液容器、磁流变液和质量块，磁流变液容器置于连接支板右侧，磁流变液盛于磁流变液容器内，质量块浸入磁流变液中，质量块上端通过第二拉线与测量组件的壳体上端连接，第二拉线与凹形滑轨滑动配合，控制电路包括信号转换装置和电极，信号转换装置输入端与压电传感器电连接，信号转换装置输出端与电极电连接，电极设于磁流变液容器内上下两端。