[发明专利]一种LED衬底晶片加工腐蚀液制备方法无效
| 申请号： | 201310365996.1 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN103409807A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 潘相成 | 申请（专利权）人： | 常州市好利莱光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213164 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种LED衬底晶片加工腐蚀液制备方法，本发明的专用腐蚀液由硫酸、FQ清洗液、磷酸、过氧化氢、硝酸所构成，各组分按质量百分比分别为硫酸10～20％，FQ清洗液20～30％，磷酸15～25％，过氧化氢5～10％，硝酸25～40％。本发明通过将硫酸缓慢倒入容器，然后将FQ清洗液、磷酸、硝酸按比例分别倒入容器内加热，达到规定的温度后，加入过氧化氢达到腐蚀液的制备。上述工艺专用腐蚀液使用能够提高蓝宝石衬底晶片的质量，而且大大缩短制备周期，从而节约生产成本，又达到提高劳动生产率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 衬底 晶片 加工 腐蚀 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种LED衬底晶片加工腐蚀液制备方法，其特征在于：所述腐蚀液由硫酸、FQ清洗液、磷酸、过氧化氢、硝酸所构成，各组分按质量百分比分别为硫酸10～20％，FQ清洗液20～30％，磷酸15～25％，过氧化氢5～10％，硝酸25～40％。
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