[发明专利]三维半导体装置

摘要

提供了一种三维半导体装置。所述装置可以包括顺序地堆叠在基板上以构成电极结构的电极。每个电极可以包括连接部，从位于其上的一个电极的侧壁向外水平地突出；对齐部，具有与位于其上或其下的一个电极的侧壁共面的侧壁。这里，电极中的设置成彼此竖直邻近的至少两个电极可以以这样的方式设置，即，所述至少两个电极的对齐部具有基本对齐成彼此共面的侧壁。

主权项

一种三维半导体装置，所述三维半导体装置包括具有顺序地堆叠在基板上的多个电极的电极结构，其中，每个电极包括：连接部，相对于设置有这样的侧壁的平面向外水平地突出，其中，所述侧壁为所述多个电极中的位于该连接部上方的一个电极的侧壁；以及对齐部，具有与所述多个电极中的位于该对齐部上的一个电极的侧壁或者所述多个电极中的位于该对齐部下面的另一电极的侧壁共面的侧壁，其中，所述多个电极中的竖直相邻的至少两个电极具有共面的侧壁，其中，电极结构包括至少一个第一组和至少一个第二组，所述至少一个第一组和所述至少一个第二组中的每个组包括所述多个电极中的一个或更多个电极，其中，所述至少一个第一组的电极的连接部位于电极结构的左侧和右侧中的一侧，所述至少一个第一组的对齐部位于电极结构的左侧和右侧中的另一侧，并且所述至少一个第二组的电极的连接部位于电极结构的左侧和右侧中的所述另一侧，所述至少一个第二组的对齐部位于电极结构的左侧和右侧中的所述一侧，其中，所述至少一个第一组包括所述多个电极中的偶数编号的电极，所述至少一个第二组包括所述多个电极中的奇数编号的电极。