[发明专利]蒸发装置和方法有效
| 申请号： | 201310370283.4 | 申请日： | 2013-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN104233194A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 吴忠宪;江济宇;陈世伟;严文材 | 申请（专利权）人： | 台积太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸发装置和方法，包括被配置成其中包括至少一个待涂覆的衬底和与蒸发源相连接的至少一个散布喷嘴的腔室。该腔室具有限定可调的孔的至少一个可调屏蔽件。该屏蔽件设置在散布喷嘴和衬底所在位置之间。孔在由面积、形状和方向所构成的组中的至少一个方面上是可调的。至少一个可调屏蔽件具有加热器。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸发装置，包括：腔室，被配置成其中包含至少一个待涂覆的衬底和至少一个与蒸发源相连接的散布喷嘴；所述腔室具有至少一个限定有可调的孔的可调屏蔽件，所述屏蔽件设置在所述散布喷嘴和所述衬底的位置之间，所述孔在由面积、形状和方向所构成的组中的至少一方面上是可调的，所述至少一个可调屏蔽件具有加热器。
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