[发明专利]片盒装载装置、装载腔室、传输系统及半导体加工设备

摘要

本发明涉及片盒装载装置、装载腔室、传输系统及半导体加工设备。片盒装载装置包括旋转臂、固定件、连杆和直线驱动源，其中，旋转臂与固定件在旋转臂的第一连接处可旋转地连接；直线驱动源固定在固定件上，且直线驱动源的运动部件与连杆的第一端可旋转地连接，并且连杆的第二端与旋转臂在旋转臂的第二连接处可旋转地连接；直线驱动源的运动部件驱动连杆的第一端作直线往复运动，以使其带动旋转臂围绕其第一连接处作旋转运动。上述片盒承载装置无需借助定位设备，即可对旋转臂的旋转角度进行限定，实现对旋转臂的定位，从而降低了设备的制造成本；并且，其传动机构及其装载片盒时的传动过程更加简单，从而提高了片盒装载装置装载片盒的可靠性。

主权项

1.一种片盒装载装置，其特征在于，其包括旋转臂、固定件、连杆和直线驱动源，其中，所述旋转臂与所述固定件在所述旋转臂的第一连接处可旋转地连接；所述直线驱动源固定在所述固定件上，且所述直线驱动源的运动部件与所述连杆的第一端可旋转地连接，并且所述连杆的第二端与所述旋转臂在所述旋转臂的第二连接处可旋转地连接；所述直线驱动源的运动部件驱动所述连杆的第一端作直线往复运动，以使其带动所述旋转臂围绕其第一连接处作旋转运动；并且，通过控制所述直线驱动源驱动所述连杆的第一端作直线运动的速度及时间对所述旋转臂的旋转角度进行限定。