[发明专利]制备多晶硅的方法有效
| 申请号： | 201310373781.4 | 申请日： | 2013-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN103482630A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 万烨;张升学;严大洲;毋克力;肖荣辉;汤传斌;杨永亮 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了制备多晶硅的方法，该方法包括：（a）使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应；（b）对包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物进行第一精馏纯化处理；（c）使三氯氢硅发生歧化反应；（d）对歧化反应产物进行第二精馏纯化处理；以及（e）使硅烷气体在还原炉中发生热解反应，以便获得多晶硅。利用该方法能够有效地制备获得电子级多晶硅，并且该方法工艺简单、安全、节能环保、成本低，且生产的多晶硅纯度高，产生的尾气和废渣能够达到环保要求，为电子级多晶硅清洁生产工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 多晶 方法 | ||
【主权项】：
一种制备多晶硅的方法，其特征在于，包括：（a）使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应，以便获得包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物；（b）对所述包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物进行第一精馏纯化处理，以便获得三氯氢硅和第一精馏残液；（c）使所述三氯氢硅发生歧化反应，以便获得包含四氯化硅和硅烷的歧化反应产物；（d）对所述歧化反应产物进行第二精馏纯化处理，以便获得硅烷气体和四氯化硅；以及（e）使所述硅烷气体在还原炉中发生热解反应，其中，所述还原炉中设置有硅芯作为晶体沉积的载体，以便获得多晶硅。
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