[发明专利]一种微型铣刀金刚石复合涂层的制备方法

摘要

一种微型铣刀金刚石复合涂层的制备方法，涉及微型铣刀。将PCB微型铣刀装入工装中，再装入沉积反应室内；将沉积反应室抽真空，再向沉积反应室通入甲烷（CH4）、氢气及氧气3种气体；向安装在沉积反应室内的加热丝通入直流电弧；在沉积反应室中，沉积过程分为加热期、成核期、亚微晶生长期、超细纳米晶生长期、生长末期5个阶段，5个阶段采用不同的气相沉积条件；其中，亚微晶生长期与超细纳米晶生长期可循环发生，循环发生次数为N（N≥1）次，形成金刚石亚微晶与超细纳米晶复合涂层。可更长时间保持刃口的锋利，明显改善加工效果，延长刀具使用寿命，减少换刀频率，提高加工效率，降低加工成本。

主权项

一种微型铣刀金刚石复合涂层的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1）将PCB微型铣刀装入工装中，再装入沉积反应室内；2）将沉积反应室抽真空，再向沉积反应室通入甲烷、氢气及氧气3种气体；3）向安装在沉积反应室内的加热丝通入直流电弧；4）在沉积反应室中，沉积过程分为加热期、成核期、亚微晶生长期、超细纳米晶生长期、生长末期5个阶段，5个阶段采用不同的气相沉积条件；其中，亚微晶生长期与超细纳米晶生长期可循环发生，循环发生次数为N（N≥1）次，形成金刚石亚微晶与超细纳米晶复合涂层。