[发明专利]靶材组件及其制造方法有效
| 申请号： | 201310375546.0 | 申请日： | 2013-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN104416281B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;陈玉蓉 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/24 | 分类号： | B23K20/24;B23K20/14;B23K20/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种靶材组件的制造方法，包括以下步骤提供靶材与背板；对所述靶材的焊接面进行加工，在所述靶材焊接面的中心区域加工出第一焊接平面，并在所述第一焊接平面的周围加工出第二焊接平面，其中，所述第一焊接平面相对第二焊接平面凸出；对所述背板的焊接面进行加工，使所述背板的厚度从中心向四周逐渐减小；将所述靶材、背板焊接在一起；去除部分靶材和部分背板材料，以形成靶材组件。本发明还提供一种靶材组件，包括靶材以及背板，所述靶材的焊接面嵌入所述背板的焊接面中。本发明提供的方法进一步排出了靶材、背板之间的残留气体，提高了靶材成品率。此外，本发明还提供一种通过上述方法获得的靶材组件。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：提供靶材与背板；对所述靶材的焊接面进行加工，在所述靶材焊接面的中心区域加工出第一焊接平面，并在所述第一焊接平面的周围加工出第二焊接平面，其中，所述第一焊接平面相对第二焊接平面凸出；还在所述靶材的第一、第二焊接平面之间加工出一连接面，使得所述第一、第二焊接平面之间平滑过渡，所述连接面为斜面；对所述背板的焊接面进行加工，使所述背板的厚度从中心向四周逐渐减小；将所述靶材、背板焊接在一起，其中，在焊接时，所述第一焊接平面嵌入背板的焊接面中且所述第二焊接平面接触而不嵌入背板的焊接面；去除部分靶材和部分背板材料，以形成靶材组件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310375546.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种除尘器锁风排料装置
- 下一篇：一种净化除尘器
