[发明专利]一种水致冷铸锭炉及其铸锭工艺

摘要

本发明公开了一种水致冷铸锭炉及其铸锭工艺，在热交换台（11）的下端设置水冷盘（13），且水冷盘（13）位于底部加热器（7）的下端，水冷盘（13）内设流腔，并设置进水口（9）和出水口（10），进水口（9）和出水口（10）通过流腔连通，进水口（9）和出水口（10）还分别连通炉体（1）外端。本发明的有益效果是：本装置采用水冷代替了原有提升隔热笼进行降温的方式，从而解决了因提升隔热笼，侧面散热，导致坩埚径向存在热量的传递，影响柱状晶的形成；也避免了隔热笼体在提升过程中与隔热笼顶部摩擦，产生碳粉尘，易进入坩埚，增加硅锭的碳杂质含量，引起晶格畸变。

主权项

一种水致冷铸锭炉，包括炉体（1）、设置在炉体内的隔热笼（3）以及设置在隔热笼（3）中热交换台（11），所述的热交换台（11）上放置有一个坩埚（4），所述的坩埚（4）的顶端及四周分布有加热器，热交换台（11）的下端设置有底部加热器（7），其特征在于：所述的热交换台（11）的下端设置有水冷盘（13），且水冷盘（13）位于底部加热器（7）的下端，水冷盘（13）内设流腔，并设置进水口（9）和出水口（10），进水口（9）和出水口（10）通过流腔连通，进水口（9）和出水口（10）还分别连通炉体（1）外端。