[发明专利]基于铁电材料的薄膜体声波谐振器的制备方法、谐振器在审
| 申请号： | 201310378490.4 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN103427778A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 朱欣恩 | 申请（专利权）人： | 张家港恩达通讯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 215614 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于铁电材料的薄膜体声波谐振器的制备方法及利用一种基于铁电材料的薄膜体声波谐振器以及包括该薄膜体声波谐振器的滤波器、振荡器和射频模块，其中的谐振器利用铁电材料的电致伸缩效应，通过改变外加直流电压的大小，控制铁电材料应力的变化，进而控制声波的速度，而谐振频率与声波速度成正比，从而控制谐振频率的变化。当外加电场为零时，应力也为零，也就不会产生声波进而不会产生谐振，因此通过是否施加直流电压起到对器件的开启和关闭的作用。本发明中的方案在不需要外加开关的情况下，通过简单的外加电压来实现谐振器的开和关，频率的调整。基于此的可开关式滤波器库，完全不需要任何的外加开关，也不存在任何来自于开关和偏压网络的插入损耗，大大降低了器件的体积和制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 材料 薄膜 声波 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于铁电材料的薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：选择基板衬底得到衬底层（1）；S2：在所述衬底层（1）上制备环形结构的第一电极（2）、铁电材料层（3）和第二电极（4）；S3：在所述衬底层（1）上位于所述第一电极（2）下方的位置，刻蚀掉基板衬底基材形成空气空腔（5），所述空气空腔（5）横向上面积大于所述第一电极（2）外边界所围成的面积。
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