[发明专利]一种气体浓度测量方法及测量装置

摘要

本发明公开了一种气体浓度测量方法及测量装置。本发明气体浓度测量方法是一种基于光学膜厚测量间接测量气体浓度检测的方法：平行光入射到某聚合物薄膜上，经其上下表面反射的光形成干涉，干涉光强随入射角近似成余弦变化；当有气体通过该膜层时，会引起膜层光学厚度（折射率膜厚）的改变，引起入射角-干涉光强曲线发生平移；测量气体通入薄膜前后干涉光光强达到峰值时的入射角的改变，计算出聚合物薄膜光学厚度的改变量，从而计算出气体浓度。本发明气体浓度测量装置结构简单，成本低，操作方便，能有效测量气体浓度，尤其是对微量气体浓度的测量更加精确，减小了测量误差，在基于薄膜光学厚度变化测量原理的高精度气体浓度测量具有重要意义。

主权项

一种气体浓度测量方法，所述气体浓度测量方法通过将气体通入气体传感器，与气体传感器上聚合物相互作用改变聚合物薄膜的厚度；利用入射光在所述聚合物薄膜上下两表面反射后再经会聚透镜形成干涉光，通过测量气体通入前后干涉光的变化，计算聚合物薄膜光学厚度的改变量，从而计算出气体浓度；其特征在于：所述气体浓度测量方法通过改变所述入射光的入射角，测量随入射角变化的干涉光光强变化曲线，根据光强变化曲线确定干涉光光强峰值时的入射角，测量气体通入前后干涉光光强峰值时入射角的改变，计算出所述聚合物薄膜光学厚度的改变量。