[发明专利]一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴有效
| 申请号： | 201310379709.2 | 申请日： | 2013-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN103472693A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 刘学平;王汉;向东;牟鹏;徐强;段广洪 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B05B1/30 |
| 代理公司： | 深圳市汇力通专利商标代理有限公司 44257 | 代理人： | 茅秀彬;王锁林 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴，包括：喷嘴主体和挡流板；喷嘴主体包括一呈U型的主腔室，以及位于主腔室两侧且与主腔室相连通的显影液入口和显影液出口；挡流板的横截面呈T型，插装于主腔室，挡流板密封主腔室口部，挡流板的两T形端面贴于主腔室的腔壁；显影液入口和显影液出口分别位于挡流板的两侧，挡流板与主腔室之间的空间形成U型显影液流道。本工艺喷嘴用于集成电路芯片显影工艺中显影液的输出，能够解决现有显影液输出时存在的流量分配不均的问题，该工艺喷嘴中显影液流道内部压力均匀，对晶圆的工作表面冲击小，能够用于较长长度的显影线的形成，满足显影工艺发展的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 芯片 显影 工艺 喷嘴 | ||
【主权项】：
一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴，其特征在于，包括：喷嘴主体和挡流板；所述喷嘴主体包括一呈U型的主腔室，以及位于所述主腔室两侧且与所述主腔室相连通的显影液入口和显影液出口；所述挡流板的横截面呈T型，插装于所述主腔室，所述挡流板密封所述主腔室口部，所述挡流板的两T形端面贴于所述主腔室的腔壁；所述显影液入口和显影液出口位于所述挡流板的两侧，所述挡流板与所述主腔室之间的空间形成U型显影液流道。
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