[发明专利]一种钽靶材的制造方法有效
| 申请号： | 201310379942.0 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104419901B | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C22F1/18;C21D8/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钽靶材的制造方法。包括，先对钽锭进行热锻处理，之后对所述热锻处理后的钽锭进行一次退火工艺，形成第一钽靶材坯料；对所述第一钽靶材坯料进行轧制处理，形成第二钽靶材坯料；对所述第二钽靶材坯料进行二次退火工艺，获得钽靶材。采用上述技术方案形成钽靶材内部晶粒细小，钽靶材内部结构均匀，有效避免钽靶材内部出现分层等缺陷，从而提高后续使用过程中，钽靶材的溅射速率，以及形成的钽薄膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钽靶材的制造方法，其特征在于，包括：提供钽锭；对所述钽锭进行热锻处理；对所述钽锭进行热锻处理之后，对所述钽锭进行一次退火工艺，形成第一钽靶材坯料；反复进行所述热锻处理至少3次，每一次热锻处理后均进行一次所述一次退火工艺；对所述第一钽靶材坯料进行轧制处理，形成第二钽靶材坯料，所述轧制处理为冷轧处理；对所述第二钽靶材坯料进行二次退火工艺，形成钽靶材；所述轧制处理包括：冷却所述第一钽靶材坯料；对所述第一钽靶材坯料进行第一阶段轧制，使所述第一钽靶材坯料的形变量为40％～60％；第一阶段轧制后，对所述第一钽靶材坯料进行第二阶段轧制，至所述第一钽靶材坯料的形变量为70％～80％；第二阶段轧制后，对所述第一钽靶材坯料进行第三阶段轧制，至所述第一钽靶材坯料的形变量大于等于90％；第三阶段轧制后，对所述第一钽靶材坯料进行第四阶段轧制，至预定厚度；每一步轧制后，转动所述第一钽靶材坯料120°～140°，之后，再对所述第一钽靶材坯料进行下一步轧制；沿不同方向反复轧制所述第一钽靶材坯料至预定厚度，形成第二钽靶材坯料；且所述轧制处理后，所述第一钽靶材坯料的形变量大于90％。
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