[发明专利]真空吸附平台的气路控制系统有效
| 申请号： | 201310380097.9 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN103439960A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 卓劲松;王军;张进;黄锦雄 | 申请（专利权）人： | 广东大族粤铭激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/44 | 分类号： | G05B19/44 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 李翔;李弘 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种真空吸附平台的气路控制系统，包括真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩、第二旋涡气泵及电磁阀，真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩及第二旋涡气泵通过若干气管依次串联连接；电磁阀的两端分别连接于第一分气座和调压过滤器上；加工时，真空吸附工作台处于负压状态；完成材料加工后，第一旋涡气泵所吹出的气体自电磁阀进入真空吸附工作台。防止蚀刻机架加工完成后，受负压影响，难于取料的现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸附 平台 控制系统 | ||
【主权项】：
一种真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:包括真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩、第二旋涡气泵及电磁阀，所述真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩及第二旋涡气泵通过若干气管依次串联连接;所述电磁阀的两端分别连接于第一分气座和调压过滤器上;加工时，直流阀断电连通、所述电磁阀通电断气、第一旋涡气泵、第二旋涡气泵均工作抽气;所述第一旋涡气泵通过第一分气座对真空吸附工作台进行抽气，使真空吸附工作台处于负压状态，第一旋涡气泵抽出的气体流经调压过滤器及烟气净化罩后被第二旋涡气泵抽出；完成材料加工后，直流阀通电断开、所述电磁阀断电通气、第一旋涡气泵工作抽气、第二旋涡气泵停止工作，第一旋涡气泵所吹出的气体自电磁阀进入真空吸附工作台。
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