[发明专利]基于VxWorks的光刻机双工件台通信方法及装置

摘要

基于VxWorks的光刻机双工件台通信方法及装置，涉及一种通信方法及装置。为了解决传统使用TCP或IP协议的VxWorks操作系统通信实时性差的问题。它是基于双工作台光刻机、上位机和VME工控机实现的，采用TCP和UDP通讯协议的双通道，TCP通道用于传输上位机的指令，UDP通道用于传输VME工控机的执行结果信息，使用缓冲队列将所有指令和数据信息缓存，然后再逐个读出，最后执行并发送，并采用零拷贝缓冲区嵌套字接口。它用于光刻机双工件台装在有VxWorks操作系统并接入以太网的环境中通信。

主权项

基于VxWorks的光刻机双工件台通信方法，它是基于双工作台光刻机、上位机和VME工控机实现的，所述VME工控机内插有运动控制卡，所述运动控制卡嵌入有指令解算模型、控制模型、电机模型和工件台数学模型；所述运动控制卡用于采集双工作台光刻机的运行数据，同时发送控制数据给所述双工作台光刻机；指令解算模型，用于对输入的指令进行解算，并将解算后的指令发送给控制模型；控制模型，用于对接收的指令进行整定，生成电机控制量和工件台控制量，并分将电机控制量发送给电机模型，将工件台控制量发送给工件台数学模型；电机模型，用于根据电机控制量驱动实际台体中的电机工作；工件台数学模型用于根据工作台控制量驱动实际台体中的工作台运动；其特征在于，上位机和VME工控机内均装有VxWorks操作系统并接入以太网；所述上位机内嵌入有上位机软件，通过所述上位机软件实现下述步骤：当接收到操作指令时，将所述操作指令转换为VME工控机接受的格式的命令，并采用TCP通信协议通过socket API接口将所述命令下传到VME工控机的步骤；当采用UDP通信协议接收到VME工控机发送的执行结果信息并显示的步骤；所述VME工控机内嵌入有VME工控机软件，通过所述VME工控机软件实现下述步骤：采用TCP通信协议从socket ZBUF API接口接收上位机发送的命令，将所述命令添加到指令接收缓冲队列的步骤；从指令接收缓冲队列取出命令，根据所述命令执行相应的软硬件操作，操作结束后将执行结果信息添加到数据发送缓冲队列的步骤；从数据发送缓冲队列取出执行结果信息，采用UDP通信协议通过socket ZBUF API接口将所述执行结果信息发送给上位机的步骤；当接收到硬件中断信号时，执行已经被绑定的中断服务程序，中断服务程序通知中断服务任务，所述中断服务任务将中断信息添加到数据发送缓冲队列的步骤；当接收到硬件轮询信号时，将硬件轮询信号添加到数据发送缓冲队列的步骤。