[发明专利]全内反射原位照明装置及其控制方法

摘要

一种全内反射原位照明装置及其控制方法，全内反射原位照明装置，包括激光光源、偏振态转换单元、第一反射镜、第二反射镜、直角导光棱镜和计算机，本发明通过计算机的控制所述的一维电机平移台和一维电机转动台的组合来精确控制第二反射镜的高度位置和角度状态实现了改变光线入射角前后样品表面的照明区域位置基本不变的目的。本发明装置结构简单紧凑，具有良好的应用前景。

主权项

一种全内反射原位照明装置，包括激光光源（1）、偏振态转换单元（2）、第一反射镜（3）、第二反射镜（5）、和直角导光棱镜（9）和计算机（11），其特征是：第一反射镜（3）安装于支撑架(8)上，第二反射镜(5)固定在一维电机转动台(4)上，所述的第二反射镜的镜面与一维电机转动台的中心轴共面，该一维电机转动台(4)固定在一维电机平移台（7）上，所述的一维电机转动台(4)和一维电机平移台（7）与计算机（11）相连；所述的直角导光棱镜（9）通过一个支架（12）置于载物台（13）上，使所述的直角导光棱镜的斜面朝上，所述的直角导光棱镜（9）的斜面供所述的样品（10）置放，所述的样品（10）与所述的直角导光棱镜（9）之间使用折射率匹配液耦合，沿激光光源的激光光束方向依次是所述的偏振态转换单元（2）、第一反射镜（3）、第二反射镜（5）和直角导光棱镜（9），经该直角导光棱镜的透射光进入所述的样品（10），从样品（10）的反射光进入光束截止器（14）。