[发明专利]电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的方法及装置

摘要

本发明属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的方法及装置，在本发明中，打破了传统的电子束熔炼模式，在熔化坩埚的熔化池内只进行熔化和初步的电子束熔炼，而在导流区域内进行集中的电子束熔炼，由于硅液能够在导流区域内铺散，比表面积增大，因此电子束熔炼效果更好，由于导流区域是向下倾斜的构造，经熔炼提纯后的硅液流入凝固坩埚内。另外，本发明很好的将电子束熔炼和定向凝固相结合，使两者在一个炉内即可完成，省略了一次凝固的过程，也不需要再进行破碎、清洗、烘干过程。

主权项

一种电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的方法，其特征在于对电子束熔炼炉进行抽真空，然后通过送料机构向带有水冷的熔化坩埚内持续送料，通过熔化用电子枪对硅料进行熔化，不断增加的硅液达到熔化坩埚口时，通过导流的方式流入到电子束熔炼炉内的凝固坩埚，其中，硅液在导流区域内通过熔炼用电子枪进行电子束熔炼，在凝固坩埚内通过水冷拉锭旋转机构进行定向凝固。