[发明专利]正型光阻剥除剂有效
| 申请号： | 201310382926.7 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN104423182B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 李豪浚;吕勇军 | 申请（专利权）人： | 得凯莫斯公司弗罗里达有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 程大军;栾星明 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光阻剥除剂，其包含：(a)18重量%‑80重量%的二乙烯三胺；(b)18重量%‑80重量%的烷基酰胺，其选自N,N‑二乙基乙酰胺、N,N‑二甲基丙酰胺和其混合物；和(c)0重量%‑2重量%的含氟表面活性剂，其中所述重量百分比基于该光阻剥除剂的总重量。此外，本发明还公开了使用本发明的光阻剥除剂去除光阻的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 正型光阻 剥除 | ||
【主权项】：
1.一种光阻剥除剂，其包含：(a)18重量％‑80重量％的二乙烯三胺；(b)18重量％‑80重量％的烷基酰胺，其选自N,N‑二乙基乙酰胺、N,N‑二甲基丙酰胺和其混合物；和(c)0重量％‑2重量％的含氟表面活性剂；(a):(b)的重量比为40:60至70:30，其中，所述光阻剥除剂包含少于5重量％的水和少于5重量％的多元醇，以及所述重量百分比基于所述光阻剥除剂的总重量，其中所述含氟表面活性剂是式1的化合物或其混合物：Rf(OCH2CH2)nOH 1其中，Rf是部分氟化或全氟化的脂族基，所述脂族基具有小于或等于6的总碳数并且选自烷基、烯基、环烷基和环烯基；和n是从1至25的整数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于得凯莫斯公司弗罗里达有限公司，未经得凯莫斯公司弗罗里达有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310382926.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
