[发明专利]太赫兹光谱测定装置及方法和非线性光学晶体检查装置及方法

摘要

本发明提供了一种太赫兹光谱测定装置及方法和非线性光学晶体检查装置及方法。当从激励光光源施加的两种不同波长的光束入射在具有固有非线性系数的非线性光学晶体上时，非线性光学晶体生成THz波和其中两种不同波长的光束已经根据非线性系数进行了波长转换的SHG波，THz波是利用与晶体自身具有的非线性系数的差频率生成而获得的。生成的THz波通过样本或从其反射并且由THz检测器检测。SHG波由SHG检测器检测。控制单元从THz检测器获取THz测量值，从SHG检测器获取SHG测量值S，并且使用在没有样本的情况下获取的基线THz测量值TB和基线SHG测量值SB来利用(T/S)/(TB/SB)执行基线校正。

主权项

一种太赫兹光谱测定装置，所述太赫兹光谱测定装置包括：非线性光学晶体，所述非线性光学晶体具有固有的非线性系数，并且由入射在其上的两种不同波长的光束生成太赫兹波和光学谐波，其中，所述太赫兹波是通过与所述非线性系数相应的和频生成或差频生成而得到的，并且在所述光学谐波中，所述两种不同波长的光束根据所述非线性系数进行了波长转换；第一检测装置，所述第一检测装置直接检测从所述非线性光学晶体生成的所述太赫兹波或者检测已经通过被施加有所述太赫兹波的测量对象或从其反射的测量太赫兹波；第二检测装置，所述第二检测装置检测从所述非线性光学晶体生成的所述光学谐波中的至少一个光学谐波；以及测量装置，所述测量装置获得测量值，在所述测量值中，由所述第一检测装置检测到的所述测量太赫兹波的强度被基于由所述第二检测装置检测到的所述至少一个光学谐波的强度进行了校正。