[发明专利]磁存储器件及其形成方法在审
申请号: | 201310389452.9 | 申请日: | 2013-08-30 |
公开(公告)号: | CN103682084A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 林佑昶;金相溶;金晥均;朴相奂;朴正宪 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;H01L43/12;G11C11/15;B82Y25/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 弋桂芬 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了磁存储器件及其形成方法。其中根据实施方式的磁存储器件包括在衬底上的第一参考磁性层、在第一参考磁性层上的第二参考磁性层、在第一参考磁性层和第二参考磁性层之间的自由层、在第一参考磁性层和自由层之间的第一隧道势垒层、以及在第二参考磁性层和自由层之间的第二隧道势垒层。第一参考磁性层、第二参考磁性层和自由层均具有基本上垂直于衬底的顶表面的磁化方向。第一隧道势垒层的电阻面积积(RA)值大于第二隧道势垒层的RA值。 | ||
搜索关键词: | 磁存储器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种磁存储器件,包括:在衬底上面的第一参考磁性层;在所述第一参考磁性层上面的第二参考磁性层;在所述第一参考磁性层和所述第二参考磁性层之间的自由层;在所述第一参考磁性层和所述自由层之间的第一隧道势垒层;和在所述第二参考磁性层和所述自由层之间的第二隧道势垒层,其中所述第一参考磁性层、所述第二参考磁性层和所述自由层均具有与所述衬底的顶表面基本上垂直的磁化方向;且所述第一隧道势垒层的电阻面积积值大于所述第二隧道势垒层的电阻面积积值。
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