[发明专利]光学系统及曝光机

摘要

本发明适用于光学技术领域，提供了一种光学系统，旨在解决现有技术中紫外线曝光灯平行度和能量均匀度较差的问题。该光学系统包括提供面光源的UV-LED面光源组件、用于反射UV-LED面光源组件发出的紫外线光的冷光镜、接收并透射冷光镜反射出的紫外线光的复眼匀光组件、接收复眼匀光组件透射出的紫外线光并用于透射和/或者反射紫外线光的光学镜以及接收光学镜反射出的紫外线光的反射镜，反射镜将接收的紫外线光反射至底片表面以进行图形转移。本发明还提供了一种曝光机。该光学系统利用UV-LED面光源组件发出紫外线光并提供面光源，紫外线光经光线系统反射后平行入射至底片表面，保证入射紫外线光的平行度和能量均匀度。

主权项

一种光学系统，用于图形转移，其特征在于，包括用于发出紫外线光并提供面光源的UV‑LED面光源组件、用于反射所述UV‑LED面光源组件发出的所述紫外线光的冷光镜、接收并透射所述冷光镜反射出的所述紫外线光的复眼匀光组件、接收所述复眼匀光组件透射出的所述紫外线光并用于透射和/或者反射所述紫外线光的光学镜以及接收所述光学镜反射出的所述紫外线光的反射镜，所述反射镜将接收的所述紫外线光反射至底片表面以进行图形转移。