[发明专利]一种基板承载装置及基板整齐度检测方法有效

专利信息
申请号: 201310390522.2 申请日: 2013-08-30
公开(公告)号: CN103449086A 公开(公告)日: 2013-12-18
发明(设计)人: 曲连杰;郭建 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: B65G1/02 分类号: B65G1/02;B65G1/10;B65G1/137
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 杜秀科
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及显示装置生产设备,公开了一种基板承载装置及基板整齐度检测方法。该承载装置包括;承载台;设置于承载台的支撑架,发射检测基板侧边的信号的信号发射器,该信号在检测到基板侧边后衰减;接收信号的信号接收器;控制装置,与所述信号接收器连接,用于获取信号接收器接收的检测信号以及获取信号基板与支撑架之间的相对位移信息,通过设定的对应关系来确定基板的整齐度。本发明的有益效果为:通过采用信号检测装置和控制装置来检测放置在基板承载装置内的基板的整齐度,实现了对基板放置的检测,在出现问题后,操作者能够及时得知,避免了后续工序中基板在取出时被碰损的情况,提高了基板的安全性。
搜索关键词: 一种 承载 装置 整齐 检测 方法
【主权项】:
一种基板承载装置,其特征在于,包括:承载台;设置于所述承载台的支撑架,所述支撑架具有多个沿高度方向排列并用于存储基板的支撑层;设置于所述承载台或支撑架上并可相对所述支撑架水平移动的信号检测装置,所述信号检测装置包括信号发射器和信号接收器,其中,所述信号发射器和信号接收器中的任一个位于存储于所述支撑架内的多个被检测的基板的上方,另一个位于多个被检测的基板的下方,所述信号发射器发射沿高度方向检测多个基板侧边的检测信号,所述信号接收器接收所述检测信号;控制装置,与所述信号接收器连接,用于根据信号接收器接收的检测信号获取基板与支撑架之间的相对位移信息,通过设定的对应关系来确定基板的整齐度。
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