[发明专利]电子装置及其制造方法、以及振荡器无效
申请号: | 201310395447.9 | 申请日: | 2013-09-03 |
公开(公告)号: | CN103663343A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 北野洋司;奥山规生 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00;B81C1/00;H03H9/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供电子装置及其制造方法、以及振荡器,该电子装置能够抑制对配置有功能元件的空腔部进行划定的覆盖层发生挠曲。电子装置(100)包含:基板(10);空腔部(30),其形成在基板(10)的上方,在内部配置有功能元件(20);以及划定空腔部(30)的覆盖构造体(40),覆盖构造体(40)具有:第1包围壁(42),其位于基板(10)的上方,且形成于空腔部(30)的周围;第2包围壁(44),其位于第1包围壁(42)的上方,且形成于空腔部(30)的周围;以及划定空腔部(30)的上表面的覆盖层(46),第2包围壁(44)在俯视时位于第1包围壁(42)的内侧。 | ||
搜索关键词: | 电子 装置 及其 制造 方法 以及 振荡器 | ||
【主权项】:
一种电子装置,其具有:基板;功能元件,其配置在所述基板的上方;第1包围壁,其位于所述基板的上方,且配置于所述功能元件的周围;第2包围壁,其被配置成相对于所述第1包围壁位于与所述基板侧相反的一侧,且俯视时位于所述第1包围壁的内侧,并且包围所述功能元件;以及覆盖层,其位于所述第2包围壁的上方,并且在俯视时与所述功能元件重叠。
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