[发明专利]角度扫描光发射电子显微成像系统及方法

摘要

一种角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法，包括光束扫描系统、电子显微系统和控制系统；所述光束扫描系统包括激发光源、整形镜、聚焦镜、振镜和成像镜；所述整形镜位于所述第一真空腔体内部，用于对所述激发光源发射的激发光进行整形，激发光经过整形汇聚后在所述整形镜的焦点a处形成聚焦光斑；所述聚焦镜、所述振镜位于所述第一真空腔体内部，用于将聚焦光斑成像并投射至所述振镜反射镜旋转中心处；所述成像镜位于所述第一真空腔体内部，用于将经过所述振镜的反射光成像到被测样品的表面。本发明提供的角度扫描光发射电子显微成像系统及其方法能实现快速、精确的角度扫描，重复定位精度高，观测效果好。

主权项

一种角度扫描光发射电子显微成像系统，其特征在于，包括光束扫描系统，包括激发光源（2）、整形镜（3）、聚焦镜（4）、振镜（5）和成像镜（7）；所述激发光源（2），位于第一真空腔体（1）外部，用于发射激发光；所述整形镜（3），位于所述第一真空腔体（1）内部，用于对所述激发光源（2）发射的激发光进行整形，激发光经过整形汇聚后在所述整形镜（3）的焦点a处形成聚焦光斑；所述聚焦镜（4）和所述振镜（5），位于所述第一真空腔体（1）内部，用于将聚焦光斑成像并投射至所述振镜（5）反射镜旋转中心处；所述成像镜（7），位于所述第一真空腔体（1）内部，用于将经过所述振镜（5）的反射光成像到被测样品（9）的表面；电子显微系统，位于第二真空腔体（19）内部，用于对所述被测样品（9）表面光电子进行成像；控制系统，位于所述第一真空腔体（1）和所述第二真空腔体（19）的外部，用于控制所述光束扫描系统和所述电子显微系统的运行。