[发明专利]一种快速制备均匀核壳式合金焊球的方法无效
申请号: | 201310395973.5 | 申请日: | 2013-09-03 |
公开(公告)号: | CN104416161A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 吴萍;周伟;穆文凯;杨中宝;李宝凌 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | B22F9/08 | 分类号: | B22F9/08;B22F3/115;B23K35/26 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 王秀奎 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种快速均匀核壳式合金焊球的制备方法,按照下述步骤进行:将适当比例的Cu,Sn和Bi合金称重并放入坩埚内,密闭坩埚与真空腔室;加热使金属熔化;将熔融的金属从坩埚底部的小孔喷射出去,在压电振荡器的振荡下,射流断裂成为均匀小液滴;均匀液滴进入液氮螺旋冷却装置,形成核壳式焊球。本发明通过一步法制备的核壳式焊球,具有均匀性好,成品率高的特点。改善了原本制备工艺复杂,颗粒不均匀的缺陷。能够满足当前集成电路电子封装的需求,并提高了焊点连接的可靠性,具有很好的应用及推广前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 快速 制备 均匀 核壳式 合金 方法 | ||
【主权项】:
一种快速均匀核壳式合金焊球的制备方法,其特征在于,按照下述步骤进行:1)将适当比例的Cu,Sn和Bi合金称重并放入坩埚内,密闭坩埚与真空腔室;2)对坩埚和真空腔室抽真空,并充入保护性Ar气;3)加热使金属熔化;4)关闭坩埚与真空腔室间的气阀,向坩埚中冲入保护性Ar气,控制其流速以达到坩埚与真空腔室的稳定压差,从而将熔融的金属从坩埚底部的小孔喷射出去;与此同时,在压电振荡器的振荡下,射流断裂成为均匀小液滴,并在通过下方的加电极板时带上同等电量的电荷,防止其粘连;5)均匀液滴进入液氮螺旋冷却装置,形成核壳式焊球。
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