[发明专利]纳米氧化锌温度传感器及其制备工艺无效
| 申请号： | 201310397106.5 | 申请日： | 2013-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN103439024A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 惠国华 | 申请（专利权）人： | 浙江工商大学 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16;B82Y15/00;B82Y40/00;C23C28/00;C23C14/35;C23C24/00;C25D11/04 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及纳米材料技术领域，具体涉及一种纳米氧化锌温度传感器及其制备工艺。这种纳米氧化锌温度传感器包括高纯铝板，所述高纯铝板上表面镀有阳极氧化铝薄膜，阳极氧化铝薄膜上磁控溅射有叉指电极，叉指电极上涂覆有纳米氧化锌层。它的制备工艺为首先制备纳米氧化锌，然后在高纯铝板上阳极氧化形成薄膜，并在阳极氧化铝薄膜上磁控溅射有叉指电极，最后将纳米氧化锌涂覆于叉指电极上得纳米氧化锌温度传感器。它具有较好的温度灵敏度，不仅成本较低，而且温度测量范围较宽；它的制备工艺简单，操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 氧化锌 温度传感器 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种纳米氧化锌温度传感器，其特征在于，所述纳米氧化锌温度传感器包括高纯铝板，所述高纯铝板上表面镀有阳极氧化铝薄膜，阳极氧化铝薄膜上磁控溅射有叉指电极，叉指电极上涂覆有纳米氧化锌层。
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