[发明专利]一种TiAlN复合涂层及其设有该涂层的刀具的制备方法

摘要

一种TiAlN多层涂层，该涂层是以“Ti1-xAlxN到Ti1-yAlyN到Ti1-zAlzN”为一个周期的多层涂层。制备方法为：采用物理气相沉积的方法沉积一层TiAl过渡层，然后沉积一层Ti1-xAlxN的基底层，再在Ti1-xAlxN的基底层上循环沉积以“Ti1-xAlxN到Ti1-yAlyN到Ti1-zAlzN”为周期的多层涂层，直至复合涂层的总厚度达到1μm～10μm，其中，0.5≤x发明的多层涂层与基体结合紧密、具有高硬度、高强度、特别是高的抗氧化能力。

主权项

一种TiAlN多层涂层，依次包括TiAl过渡层、Ti1‑xAlxN的基底层、至少一层循环沉积层，每个所述循环沉积层包括Ti1‑xAlxN层、Ti1‑yAlyN层、Ti1‑zAlzN层，其中，Ti1‑xAlxN层、Ti1‑yAlyN层、Ti1‑zAlzN层顺序自由排列和组合，涂层的总复合厚度为1μm～10μm，0.5≤x

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