[发明专利]一种小孔径高反镜反射率测量方法有效

专利信息
申请号: 201310400355.5 申请日: 2013-09-05
公开(公告)号: CN103454074A 公开(公告)日: 2013-12-18
发明(设计)人: 李斌成;祖鸿宇;韩艳玲 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 杨学明
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及一种小孔径高反镜反射率测量方法,将光强周期性调制的连续激光注入稳定初始谐振腔,在适当位置加上一定尺寸的小孔,由探测器探测衰荡信号,得到初始谐振腔内激光的衰荡时间τ0,算出平均反射率R0;同样,在初始光学谐振腔内根据使用角度加入待测高反射镜构成测试光学谐振腔,得到测试腔的衰荡时间τ1,算出待测高反射镜的反射率R1。本发明优点:可以应用光斑尺寸很大的激光光源测量小孔径高反镜反射率,不需要光束整形系统,简化了实验装置。
搜索关键词: 一种 孔径 高反镜 反射率 测量方法
【主权项】:
一种小孔径高反镜反射率测量方法,其特征在于,其实现步骤如下:步骤(1)、将光强周期调制的连续激光入射到初始光学谐振腔;所述初始光学谐振腔由两块相同的平凹高反镜凹面相对垂直于光轴放置组成,入射光从第一块平凹高反镜中心透过后垂直入射到第二块平凹高反镜,在两腔镜之间垂直光路加入小孔光阑,此后不再动小孔;或者初始光学谐振腔由两块相同的平凹高反镜和一块平面高反镜构成,平面高反镜为入射腔镜且倾斜于光轴放置,入射激光束从该平面高反镜透射后垂直入射到垂直于光轴放置的第一块平凹高反镜,激光束被第一块平凹高反镜反射后按原路返回至平面高反镜,然后又被平面高反镜再次反射,反射光垂直入射到第二块平凹高反镜,在平面高反镜与第二块腔镜之间垂直光路加入小孔光阑,此后不再动小孔;步骤(2)、从初始光学谐振腔透射的激光由聚焦透镜聚焦到光电探测器,光电探测器探测初始光学谐振腔的衰荡信号,当初始光学谐振腔的衰荡信号幅值超过设定阈值时,触发关断入射激光束,记录初始光学谐振腔的衰荡信号,或者在调制信号的下降沿记录初始光学谐振腔的衰荡信号,得到衰荡时间τ0,进而得到初始腔各高反镜的平均反射率R0;步骤(3)、在初始光学谐振腔内根据待测高反镜的使用角度加入待测高反镜,构成测试光学谐振腔;所述测试光学谐振腔构成为:在步骤(1)所述的初始光学谐振腔的小孔和第二块平凹高反镜之间插入待测高反镜,入射到待测高反镜的光束入射角为待测高反镜的使用角度;步骤(4)、从谐振腔透射的激光束由聚焦透镜聚焦到光电探测器,光电探测器探测衰荡信号,当测试光学谐振腔输出衰荡信号幅值超过设定阈值时,触发关断入射激光束,记录测试光学谐振腔输出的衰荡信号,或者在调制信号的下降沿记录测试光学谐振腔的衰荡信号,得到激光束在测试光学谐振腔内的衰荡时间τ1,通过计算得待测高反射镜的反射率R1。
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