[发明专利]一种深紫外光刻照明系统

摘要

一种深紫外光刻照明系统，包括衍射元件和聚光镜组；石英棒，位于聚光镜组的光路上，聚光镜组会聚的光经由石英棒的入射端入射并经由出射端出射；石英棒控制装置，负责控制石英棒，有垂直于光轴的旋转轴，绕旋转轴转动可调换石英棒的两端，沿旋转轴移动可将不同的石英棒置于光轴上。石英棒控制装置由高精度旋转台控制转动，由高精度一维平移台控制轴向移动；锥形棱镜组位于准直镜组的出射光路上；准直镜组位于控制装置后，石英棒的出射光路上；复眼透镜阵列在准直镜组后，负责将光束分解为多个二级光源并通过其后的成像系统照明掩模面。本发明利用简单的方法实现了相干因子的多档变化，简化变焦透镜的设计复杂度，达到简化结构降低成本的目的。

主权项

一种深紫外光刻照明系统，其特征在于：首先将穿过照明系统各组件中心的虚拟直线定义为系统的光轴，沿Z轴正方向为光轴的正方向，照明系统各元件的中心都在光轴上；所述照明系统包括：衍射元件：位于照明系统的前端照明光路上，将入射光束整形成对应的形状，在光瞳面上获得相应形状的能量分布；聚光镜组，位于照明系统的照明光路上，将经扩束整形得到的平行光会聚到石英棒入射端口附近；石英棒，位于所述聚光镜组的光路上，聚光镜组出射的光经由所述石英棒的入射端进入，并由其出射端出射；系统中有多根所述石英棒；任意两根石英棒两端的口径比不相同；石英棒控制装置，被安装在照明系统的机械外壳上，用来固定所述多根石英棒，石英棒控制装置有垂直于光轴的旋转轴，石英棒控制装置沿旋转轴移动可以调节石英棒的位置，使指定的石英棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子，还可以绕石英棒控制装置的旋转轴石英棒来调节照明系统的相干因子；准直镜组：位于控制装置后的照明系统光路上，负责将由石英棒出射的光束准直；锥形棱镜组：位于准直镜组的照明系统光路上后，由两个锥形棱镜组成，通过调整锥形棱镜的间隔能同时改变光束的内外沿高度，保持光束宽度和角度不变；复眼透镜阵列：位于锥形棱镜后的光路上，将光束分解为多个子光源，调节照明系统掩模面上的照明均匀性；复眼成像系统：复眼透镜阵列分解成的多个二级光源通过复眼成像系统照明掩模面；光束经过系统的衍射元件、聚光镜组、石英棒、聚光镜组、锥形棱镜后，在复眼透镜组的前表面形成由衍射元件整形成的特定光瞳形状，此面为系统的光瞳面。