[发明专利]等离子体用高频电源及使用它的ICP 发光分光分析装置有效
| 申请号： | 201310401134.X | 申请日： | 2013-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN103687268A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 松下知义 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体用高频电源及使用它的ICP发光分光分析装置，能够不发生结露地防止高频电路板的元件短路。该等离子体用高频电源(30)具备壳体(31)和配置在壳体(31)的内部的高频电路板(32)，在高频电路板(32)安装有用于向高频感应线圈(21)提供高频电流的元件，该等离子体用高频电源(30)还具备将高频电路板(32)冷却的冷却块(33)，在冷却块(33)的内部形成有用于使制冷剂流通的制冷剂流路(33a)，在提供高频电流时制冷剂在制冷剂流路(33a)中流通，在不提供高频电流时制冷剂不在制冷剂流路(33a)中流通。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 体用 高频 电源 使用 icp 发光 分光 分析 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体用高频电源，具备：壳体；以及高频电路板，其配置在上述壳体的内部，其中，在上述高频电路板中安装有用于向高频感应线圈提供高频电流的元件，该等离子体用高频电源的特征在于，还具备将上述高频电路板冷却的冷却块，在上述冷却块的内部形成有用于使制冷剂流通的制冷剂流路，在提供高频电流时制冷剂在制冷剂流路中流通，在不提供高频电流时制冷剂不在制冷剂流路中流通。
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