[发明专利]一种曲面样品电子探针定量线扫描方法

摘要

本发明提供一种曲面样品电子探针定量线扫描方法，用背散射电子图像找到样品分析区域，设置电镜加速电压、电子束流、束斑尺寸和面分布图最小移动步长、网格数据点阵，读取当前点坐标位置，移动下一点再读取该点坐标，直到所有网格点坐标位置全部读完；利用元素特征X射线波谱分析获得分析区域元素强度面扫描图，测试所分析元素的标准试样X射线强度，将原始计数面扫描结果X射线强度换算成浓度含量，得到定量面分布图；应用线扫描得到曲面样品的定量线扫描曲线。本发明可修正样品表面凹凸所产生的测量误差，提高检验效率和检验精度，有效解决电子探针只能分析平坦样品的问题，扩大电子探针分析的样品范围。

主权项

1.一种曲面样品电子探针定量线扫描方法，其特征在于，具体步骤为：（1）、确定分析区域将洁净的分析样品放入电子探针样品室，用背散射电子图像找到样品分析区域；（2）、参数设置电镜参数：测量时，加速电压为15-25kV，电子束流为20-200nA，束斑尺寸为1；面分布图参数设置：在菜单中选择扫描方式为样品台扫描，最小移动步长1.0，坐标手动定位；样品台扫描参数设置：扫描停留时间大于30ms，移动步长大于1.0×1.0；TraceMap参数设置：网格数据点阵大于9×9，读取当前点坐标位置，移动到下一个点，手动聚焦再读取该点坐标，重复上述步骤直到分析区域内所有网格点的坐标位置全部读取完毕；对上述坐标进行计算后保存计算结果；（3）、获得原始面扫描分布图，利用元素特征X射线的波谱分析获得分析区域元素X射线强度面扫描图；（4）、转换为定量面分布图，在同样的试验条件测试所分析元素的标准试样X射线强度，将原始的计数面扫描结果中的X射线强度换算成浓度含量，得到定量面分布图；（5）、LineProfile线扫描在定量面分布图中应用LineProfile线扫描，得到经修正的曲面样品的定量线扫描曲线。