[发明专利]托盘原点定位系统及托盘原点定位方法有效
申请号: | 201310404044.6 | 申请日: | 2013-09-06 |
公开(公告)号: | CN104425328B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 涂冶 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/68 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 彭瑞欣,张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种托盘原点定位系统及托盘原点定位方法,托盘原点定位方法包括以下步骤S1,在托盘旋转时朝向托盘上各个承载位经过的路径发射检测信号,并接收来自该路径上各个位置的反射信号;S2,根据反射信号获得在托盘旋转的过程中位于各个相邻两个承载位之间的部分托盘上表面经过预设检测点的时长,并判断时长是否等于预设时长,若是,则确定当前托盘所处位置即为托盘原点位置;若否,继续寻找满足预设时长的托盘位置。本发明提供的托盘原点定位方法,不仅可以提高工艺的准确性,而且可以提高托盘的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 托盘 原点 定位 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种托盘原点定位系统,其特征在于,包括可旋转地托盘、检测单元和控制单元,其中在所述托盘的上表面上形成有沿其周向分布的多个用于承载被加工工件的承载位,各个承载位的上表面的反射率与所述托盘的上表面的反射率不同;并且,至少存在一个位于相邻两个所述承载位之间的部分托盘上表面对应的托盘中心夹角相对标准角度存在角度偏差;在存在多个角度偏差时,多个角度偏差中至少存在一个与其他不相同;标准角度定义为各个相邻两个所述承载位之间的部分托盘上表面对应的托盘中心夹角相等时任意相邻两个承载位之间的中心夹角;所述检测单元在所述托盘上方的预设检测点处,用以在所述托盘旋转时朝向所述托盘上各个承载位经过的路径发射检测信号,并接收来自该路径上各个位置的反射信号,且将其发送至所述控制单元;所述控制单元用于根据所述反射信号来获得在所述托盘旋转的过程中位于各个相邻两个所述承载位之间的部分托盘上表面经过所述预设检测点的时长,并判断所述时长是否等于预设时长,若是,则确定当前所述托盘所处位置即为所述托盘原点位置;若否,继续寻找满足所述预设时长的托盘位置;当存在一个角度偏差时,所述预设时长定义为该所述角度偏差所在的中心夹角对应的部分托盘上表面经过所述预设检测点所需的时长;当存在多个角度偏差时,预设时长定义为多个角度偏差中与其他不同的任意一个角度偏差所在的中心夹角对应的部分托盘上表面经过所述预设检测点所需的时长。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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