[发明专利]反应腔室及等离子体加工设备

摘要

本发明提供一种反应腔室及等离子体加工设备，包括沿其竖直方向间隔设置的多层托盘和加热装置，加热装置包括感应线圈和与之电连接的交流电源，用以采用感应加热的方式加热托盘以间接加热被加工工件，感应线圈包括主线圈和至少一个辅助线圈，主线圈螺旋缠绕在反应腔室的侧壁外侧，且形成对应于反应腔室竖直方向上不同区域的多个加热线圈分组，在每个反应腔室竖直方向上不同区域内包括至少一层托盘；每个辅助线圈位于主线圈的外侧，辅助线圈根据反应腔室竖直方向上不同区域的温度需求，与对应于反应腔室竖直方向上相应区域的加热线圈分组并联。本发明提供的反应腔室，其可以提高反应腔室竖直方向上托盘的温度均匀性，从而可以提高工艺质量和良品率。

主权项

一种反应腔室，其包括多层托盘和加热装置，其中，所述多层托盘设置在所述反应腔室内，且沿其竖直方向间隔设置，用以承载被加工工件；所述加热装置包括感应线圈和与之电连接的交流电源，用以采用感应加热的方式加热托盘，从而间接加热被加工工件，其特征在于，所述感应线圈包括主线圈和至少一个辅助线圈，其中所述主线圈螺旋缠绕在所述反应腔室的侧壁外侧，形成对应于所述反应腔室竖直方向上不同区域的多个加热线圈分组，在每个所述反应腔室竖直方向上不同区域内包含至少一层所述托盘；每个所述辅助线圈位于所述主线圈的外侧，并且所述辅助线圈根据所述反应腔室竖直方向上不同区域的温度需求，与对应于所述反应腔室竖直方向上相应区域的加热线圈分组并联。