[发明专利]转盘定位装置、装载传输系统及等离子体加工设备有效

专利信息
申请号: 201310406341.4 申请日: 2013-09-09
公开(公告)号: CN104425331B 公开(公告)日: 2017-09-29
发明(设计)人: 张文;刘菲菲 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 代理人: 彭瑞欣,张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供的转盘定位装置、装载传输系统及等离子体加工设备,其包括转盘、原点检测单元和到位检测单元,其中,在转盘上设置有工位,用以承载工件;原点检测单元用于检测转盘的原点位置;到位检测单元包括第一检测模块和第一标识模块,其中,第一标识模块用于标识工位在转盘上的位置;第一检测模块用于通过检测第一标识模块来判断工位是否到达预定位置。本发明提供的转盘定位装置,其可以监测转盘的工位是否到达预定位置,从而可以及时获知转盘的工位出现的位置异常。
搜索关键词: 转盘 定位 装置 装载 传输 系统 等离子体 加工 设备
【主权项】:
一种转盘定位装置,包括转盘,在所述转盘上设置有工位,用以承载工件;所述转盘定位装置还包括原点检测单元,用于检测转盘的原点位置,其特征在于,还包括到位检测单元,其包括第一检测模块和第一标识模块,其中所述第一标识模块用于标识所述工位在所述转盘上的位置;所述第一检测模块用于通过检测所述第一标识模块来判断所述工位是否到达预定位置;所述第一标识模块包括第一凸部,所述第一凸部设置在所述转盘的外周壁上,且位于与所述工位相对应的位置处;所述第一检测模块包括第一距离传感器和第一控制器,其中,所述第一距离传感器设置在所述转盘外周壁的外围,用以在所述转盘自其原点位置旋转时,朝向所述第一凸部经过的路径发射检测信号,并接收来自该路径上各个位置的反馈信号,且将所述反馈信号发送至所述第一控制器;所述第一控制器用于在所述转盘旋转至预定角度时,判断所述反馈信号是否来自所述第一凸部,若是,则确定所述工位到达预定位置;若否,则确定所述工位出现位置异常;所述预定角度为预设的所述工位到达预定位置时需要所述转盘自其原点位置旋转的角度。
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