[发明专利]一种红外与毫米波分频微纳米结构薄膜器件有效
| 申请号： | 201310407841.X | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN103466538A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 刘华松;冷健;庄克文;季一勤;姜玉刚;王利栓 | 申请（专利权）人： | 中国航天科工集团第三研究院第八三五八研究所 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人： | 刘东升;张宏亮 |
| 地址： | 300308 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种红外与毫米波分频微纳米结构薄膜器件，属于真空镀膜技术领域。本发明采用微纳米多层膜结构设计了一种红外与毫米波频率分离器件，组成该器件的三种薄膜和基底的厚度设计满足电磁波干涉条件，使得这种微纳米结构的薄膜器件能够实现红外波段高反射和毫米波透射，且薄膜的表面粗糙度低，层数少物理厚度小，薄膜的整体应力小，成本低，易于制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 毫米波 分频 纳米 结构 薄膜 器件 | ||
【主权项】：
一种红外与毫米波分频微纳米结构薄膜器件，其特征在于，所述器件自下而上包括基底、第一介质薄膜、金属薄膜和第二介质薄膜；所述基底的厚度为(4.25／n)mm，n表示基底的材料在毫米波段的折射率；所述第一介质薄膜与第二介质薄膜的厚度相同，均为20～50nm；所述金属薄膜最小厚度的设计依据为：保证红外光波不能透射到所述金属薄膜与第一介质薄膜的界面；所述红外光波从所述第二介质薄膜的上表面入射实现红外与毫米波频率分离。
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