[发明专利]铸锭炉恒温加热工艺无效
| 申请号： | 201310408364.9 | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN103484936A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 刘耀峰;潘振东 | 申请（专利权）人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 高玉滨 |
| 地址： | 214183 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铸锭炉恒温加热工艺，包括加热阶段、融化阶段、长晶阶段、退火阶段和冷却阶段，所述加热阶段为100℃恒温下加热25～35分钟。采用100℃恒温加热，将硅料可能包含的水分在不污染硅料的前提下，将其迅速排出，达到提升少子寿命和硅锭成品率的功效：少子寿命提升0.8个单位以上，由原来的4.5us提升到现在的5.3us以上；硅锭成品率提升1%点以上，由原来的67%提升到现在的68%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 铸锭 恒温 加热 工艺 | ||
【主权项】：
一种铸锭炉恒温加热工艺，包括加热阶段、融化阶段、长晶阶段、退火阶段和冷却阶段，其特征在于：所述加热阶段为100℃恒温下加热25～35分钟。
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